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實驗設備 

• 管式爐（科晶） 

  • CVD系統

  • 旋轉管式爐

  • 單溫區管式爐

  • ALD /PECVD /Mist /HVPE /MOCVD系統

• 箱式爐（科晶） 

  • 1600~1700℃C箱式爐(MoSiO2)

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真空法蘭 

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真空泵